龙女贵主还宫，洞庭凝碧；柳生不在，谁会此意
辟邪云路万里，百邪不侵；西域来此，建旗羽林
狐仙月出皎兮，劳心悄兮；有意变化，君莫笑兮
夜叉老鱼跳浪，瘦蛟婆娑；巡行不已，尽职尽责
马面来历不明，土长土生；傍着牛哥，冥界逞雄
牛头曾于法华领大车，剪尾跑蹄皈我佛：南无阿弥陀
二郎都江堰下，千古英风。二郎在此，波澜不惊
判官君貌狰狞，君心公正；青林黑塞，唯君所命
七郎百箭攒心，心尤未死；毅魄归来，两狼泣下
刑天干戚之舞，猛志常在。以腹代首，天刑何有于我哉
“妖”，有两层基本含义，一是指反常怪异的事物和现象，这是妖的最初含义。《说文解字》释之为：“地反物也，从示，和神同类。”《左传·宣公十五年》记载：“天反时为灾，地反物为妖，民反德为乱，乱则妖灾生。”反物，指群物失去本来的常性。《左传·庄公十四年》：“人弃常则妖兴，故有妖。”这里的妖不一定有一个精灵的实体，如“服妖”不是指衣服成了精，而是在对人们的衣服装饰有着严格规定的古代，人们穿了奇装异服，乱了礼制，含有贬义。
二是指各种自然物变成的精怪，此意义上的妖一般都有一个原形物作为实体，如狐妖、蛇妖等。
“怪”，《说文解字》释为“异也”，指自然界奇异怪诞的事或物。庄子说“人妖物孽曰怪”。妖和怪的初义相近，所以人们常将二者合称“妖怪”，指怪异、反常的事物与现象。古代人们往往把妖怪的出现看成是可怕的灾祸将要发生的前兆，以为是上天对人们的警示。《孔丛子·执节》曰：“若中山之谷，妖怪之事，非所谓天祥也。”《汉书·循吏传·龚遂》曰：“久之，宫中数有妖怪，王以问遂，遂以为有大忧，宫室将空。”
“精”，古人认为天地间万物皆秉精气而生。《周易·系辞上》：“精气为物，游魂为变。”唐代孔颖达疏：“云精气为物者，谓阴阳精灵之气，氤氲积聚而为万物也。”古人认为年深日久的动植物及器物能够获得天地阴阳之气而成为具有超自然力量的精灵，人们称之为精。汉代王充在《论衡·订鬼篇第六十五》中说：“夫物之老者，其精为人；亦有未老，性能变化，象人之形。”晋代神仙家葛洪的《抱朴子》言：“万物之老者，其精悉能假托人形。”人以外的事物获得灵魂、神力而能兴妖作怪，就是精怪。它也总是被看作反常的、不同于正神的、常给人们带来灾祸的精灵。它有一个固定的自然物或器物为原形，是一个由物幻化而成的精灵。
精有时又称之为“物”或“魅”。司马迁曰：“学者多言无鬼神，然言有物。”这里的物指的就是由动物、植物或器物变成的物怪或怪物。《说文解字》九上鬼部：“魅，老物精也。”
精也是指反常怪异的事物，也总是给人们带来灾祸，与妖、怪的意义相近，所以人们也常合称精怪、妖精。晋干宝《搜神记》卷十八记有：“明日视之，乃老狐也。自是亭舍更无妖怪。”这里的妖怪就是狐变成的精灵。干宝又在《搜神记》卷六说：“妖怪者，盖精气之依物者也。”就是说妖怪是各种天地精气幻化而成的事物。
“魔”，梵文“魔罗”的略称，古译经论多作“磨”，至南朝梁武帝时，以其为能恼人者，遂改作“魔”。佛教把一切扰乱身心、破坏行善者和一切妨碍修行的心理活动均称作“魔”。《大智度论》卷五：“问曰：‘何以名魔?’答曰：‘夺慧命、坏道法功德善本，是故名为魔。”，在印度古代神话和宗教中，世界有多层天宇，第六天宇的统治者是魔王波旬。他和他手下的魔将臣民常到下界捣乱、干坏事，所以被视作邪恶的代表，称为恶魔。唯一的区别就是中国的妖不一定害人。
由于印度的“魔”与中国本土的“妖怪”都是邪恶的，是作为人类的异己力量出现的，所以在宗教文化与中国世俗文化长期碰撞的过程中，外来的“魔”逐渐与中国文化中的“妖怪”合流，如小说中常用的“妖魔”、“泼魔”、“魔头”等指的就是妖怪。并且神魔小说中几乎所有的“魔”都是“怪”，是“妖”，是“精”。如《西游记》中美猴王七弟兄中的牛魔王、蛟魔王、鹏魔王，其实就是牛精、蛟精、鹏精，或称牛怪、蛟怪、鹏怪。没有魔比妖厉害的说法，相反魔王只比普通的妖厉害一点，反而没有大妖怪厉害。
随着社会的发展，妖怪的概念也发生了微妙的变化。以“妖”的概念为核心，形成了妖怪、妖精、妖魔、精怪等语词，都是指妖或者是妖的别名。在民间的习俗信仰中，这些词语的所指基本上是相同的，特别是在中国民间，妖怪、妖精、妖魔、精怪基本上可以互相解释，并且在志怪小说、神魔小说中亦常常混用或互换。《西游记》中就常在同一回中，时而用“妖怪”，时而用“妖精’’，时而用“妖魔”，来称呼同一事物。
综上所述，中国古代的妖怪概念有广义和狭义之分。两汉之前，妖怪的概念多是广义的，指代一切怪异反常的事物和现象。狭义的妖怪概念，经两汉至南北朝、隋唐时期渐趋成熟，指的则是日久成精，获得了超自然能力的动物、植物和无生物等。随着佛教的传播和兴盛，佛教中“魔”的概念进入中国文化之中